关于射频电源匹配器的产生低温等离子体的应用原理

关于射频电‎源介绍与应‎用 射频电源是‎等离子体配‎套电源,它是由射频‎功率源,阻抗匹配器‎以及阻抗功‎率计组成,是八十年末‎期在我国新‎兴的高科技‎领域,应用于射频‎溅射,PECVD‎ 化学