MEMS技术在集成加热功能的双模块湿度传感器中应用研究

MEMS技术在集成加热功能的双模块湿度传感器中应用研究随着物联网技术的快速发展，传感器技术也在不断的进步和升级。双模块湿度传感器成为了近年来应用最为广泛的传感器之一。在双模块湿度传感器中，MEMS技术