金属石墨烯欧姆接触及石墨烯器件研究的中期报告

金属石墨烯欧姆接触及石墨烯器件研究的中期报告摘要：本文介绍了金属石墨烯欧姆接触及石墨烯器件研究的中期进展情况。首先，利用化学气相沉积法在其上生长石墨烯。然后，采用光刻和电子束微纳加工技术制备了石墨烯场