直流电弧等离子体喷射法制备金刚石自支撑膜研究新进展

直流电弧等离子体喷射法制备金刚石自支撑膜研究新进展摘要：金刚石自支撑膜具有高硬度、高热导率、高生物相容性等性质，在现代半导体电子学、光学、电工等领域具有广泛应用前景。本文介绍了直流电弧等离子体喷射法制