Fs-46氟塑管在CVD及外延管系统中的应用

Fs-46氟塑管在CVD及外延管系统中的应用Fs-46氟塑管在CVD及外延管系统中的应用氟塑管是一种由聚四氟乙烯（PTFE）材料制成的管道，具有非常优异的耐腐蚀性，电绝缘性和耐高温性。因此，氟塑管在半