淀积在不同小倾角蓝宝石衬底的n型GaN的研究

淀积在不同小倾角蓝宝石衬底的n型GaN的研究淀积在不同小倾角蓝宝石衬底的n型GaN的研究摘要：本文研究了淀积在不同小倾角蓝宝石衬底上的n型GaN材料，并对其物理性质进行了分析。实验结果表明，蓝宝石衬底