深亚微米高压集成电路中LDMOS的制造与工艺集成的综述报告

深亚微米高压集成电路中LDMOS的制造与工艺集成的综述报告深亚微米高压集成电路是一种广泛应用于电力电子、发光二极管和太阳能电池等领域的电子器件，其中LDMOS是一种重要的功率放大器件，具有低导电阻、高