基于MEMS工艺的半导体电阻式气敏元件的研究

基于MEMS工艺的半导体电阻式气敏元件的研究随着科技的发展和进步，半导体电阻式气敏元件已成为热门研究领域之一。同时，MEMS技术也成为制备半导体电阻式气敏元件的重要手段之一。本文主要探讨半导体电阻式气