基于MEMS的镍薄膜加热器催化传感器研究

基于MEMS的镍薄膜加热器催化传感器研究基于MEMS的镍薄膜加热器催化传感器研究摘要：传统的气体传感器使用电热丝或气体灯作为加热元件，但这些传感器存在体积大、功耗高、响应时间长等问题。为了解决这些问题