静电层层自组装复合磨粒及抛光液的抛光性能研究

静电层层自组装复合磨粒及抛光液的抛光性能研究摘要：本文以静电层层自组装（ECA）技术为基础，通过对不同复合磨粒的选择与表征，以及制备不同抛光液的实验研究，探讨了ECA复合磨粒及抛光液的抛光性能。结果表