环境参数对常规MEMS结构粘附失效的影响

环境参数对常规MEMS结构粘附失效的影响环境参数对常规MEMS（微机电系统）结构粘附失效的影响摘要：常规MEMS（微机电系统）结构的粘附失效是指在使用过程中，由于负载、温度、湿度等环境参数的影响，导致