磁控溅射镀膜生产ZnO∶Al(AZO)薄膜的工艺探讨

磁控溅射镀膜生产ZnO∶Al(AZO)薄膜的工艺探讨磁控溅射镀膜技术是一种较为高效、可控制、高精度、高透明度、高稳定性的薄膜制备技术，近年来得到了广泛的应用。其中，ZnO∶Al(AZO)薄膜在透明导电