蓝宝石低能离子束刻蚀纳米微结构及光学性能研究

蓝宝石低能离子束刻蚀纳米微结构及光学性能研究摘要本文利用蓝宝石低能离子束刻蚀技术对纳米微结构进行研究。实验结果表明，离子束刻蚀可以有效地制备出具有不同形状和尺寸的纳米微结构，并对其进行表征。同时，研究