磁控溅射镀膜的简介及其实际操作

磁控溅射镀膜的简介及其实际操作作者：徐超群作者单位：乐山师范学院物理与电子工程系【摘要】溅射技术的最新成就之一是磁控溅射。对于二级溅射、偏压溅射、三级或四级溅射和射频溅射而        言。它们的缺