基于MEMS技术纳米多晶硅薄膜压力传感器制作及特性研究

基于MEMS技术纳米多晶硅薄膜压力传感器制作及特性研究基于MEMS技术纳米多晶硅薄膜压力传感器制作及特性研究摘要：随着科技的不断发展，微电子机械系统（MEMS）技术在各个领域得到了广泛的应用。在这项研