硅中磷、硼浓度的测量方法

硅中磷、硼浓度的测量方法硅中磷、硼浓度的测量方法摘要：硅中磷、硼浓度的测量方法对于半导体材料的制备和性能评估起着关键的作用。本文综述了目前常用的硅中磷、硼浓度测量方法，包括非破坏性和破坏性方法。非破坏