基于SOI压力和磁场多功能传感器集成化研究任务书

基于SOI压力和磁场多功能传感器集成化研究任务书一、背景随着物联网技术的发展和应用广泛，传感器在现代智能制造、智慧城市、智能家居等领域中发挥着至关重要的作用。而多功能传感器，在减少设备复杂性和降低制造