2021年论氮化物衬底材料的开发(2)

论氮化物衬底材料的开发(2) 论氮化物衬底材料的 ___ GaN、AlN、InN及其合金等材料，是作为新材料的GaN系材料。对衬底材料进行评价，要就衬底材料综合考虑其因素，寻找到更加合适的衬底是