微纳双重结构特征参数检测方法研究的中期报告

微纳双重结构特征参数检测方法研究的中期报告一、研究背景及意义微电子技术是现代科学技术中一个重要的研究领域，微纳电子器件的制备和微纳米结构的特性研究已成为微电子领域的热点问题。微纳米器件的制造和工艺需要