MEMS所使用的功能材料

MEM骄义（2）: MEMSf使用的功能材料功能材料是指那些具有优良的电学、 磁学、 光学、 热学、 声学、 力学、 化学、 生物医学功能，特殊的物理、化学、 生物学效应，能完成功能相互转化， 主要用