化学气相沉积法制备碳化铬薄膜的研究

化学气相沉积法制备碳化铬薄膜的研究介绍碳化铬（CrC）是一种广泛应用于高温、高强度、高硬度材料的重要化合物。它具有优异的耐磨性、抗腐蚀性、高熔点和高硬度等特性，常用于制备耐磨涂层、航空发动机零部件和陶