微孔、介孔和大孔氧化铝膜的制备及其缓蚀剂担载性能的研究

微孔、介孔和大孔氧化铝膜的制备及其缓蚀剂担载性能的研究微孔、介孔和大孔氧化铝膜的制备及其缓蚀剂担载性能的研究摘要：氧化铝膜的微孔、介孔和大孔结构对于缓蚀剂的担载性能具有重要影响。本文综述了微孔、介孔和