光致弯曲驱动在微机器人中的应用研究的中期报告

光致弯曲驱动在微机器人中的应用研究的中期报告一、研究背景与意义微机器人是一种小型化的机电系统，通常由电子器件、微机械传感器、微驱动器和微加工技术组成，尺寸大多在毫米级以下。此类机器人具有结构间距小、作