基于离子束剥离与转移技术的异质集成材料研究的开题报告

基于离子束剥离与转移技术的异质集成材料研究的开题报告一、研究背景随着集成电路技术的不断发展，异质集成材料（Heterogeneous Integration Materials，简称HIM）作为高性能