高介电常数材料

高介电常数材料　　高k栅介质材料研究　　黄玲XX7　　摘要　　在传统的MOSFET中，栅介质材料大部分采用二氧化硅，因为SiO2具有良好的绝缘性能及稳定的二氧化硅—硅衬底界面。然而对于纳米线宽