新型纳米材料在微电子技术中的应用探究的论文

新型纳米材料在微电子技术中的应用探究的论文 　　摩尔定律一直是指导微电子行业开展速度的准那么之一。根据摩尔定律，以硅材料为主的微电子器件的集成度越来越高，器件的特征尺度越来越小，从而使集成电路的性价比