洁净室的污染源控制原则[修改版]

第一篇：洁净室的污染源控制原则洁净室的污染源控制原则洁净室的污染源可分为外污染源和内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及供水、溶剂等；而内污染源则包括制造设备、工作