常压MOCVD法生长高质量GaAs薄膜的研究

常压MOCVD法生长高质量GaAs薄膜的研究常压MOCVD法生长高质量GaAs薄膜的研究摘要：GaAs是半导体材料中具有广泛应用前景的一种，而高质量GaAs薄膜的制备是GaAs材料应用的基础。本文针对