基于UV-LIGA光刻技术的曝光及后烘过程仿真研究的综述报告

基于UV-LIGA光刻技术的曝光及后烘过程仿真研究的综述报告UV-LIGA技术是一种高精度微纳加工技术，广泛应用于微机电系统（MEMS）和光学器件等领域。在UV-LIGA技术中，光刻工艺是关键的一步，