2半导体制造工艺概况

半导体制造工艺概况教学目的1 掌握常见器件的隔离工艺 2 了解典型双极型集成电路制造工艺 3 了解典型CMOS器件制造工艺教学重点：器件的隔离工艺教学难点：器件的隔离工艺教学过程：2.1引言 集成