光纤定位硅V型槽的设计和制作

摘 要 通过光纤把外部光源引入soI集成光路时，为减少偶然因素对耦 合效率的影响．需解决光纤定位问题，以及为提高多通道波导型器件、 半导体激光器阵列、光开关阵列等与圯纤的耦合效率问题，作者利用 单晶硅