基于正交实验法的CuTaTEOS碱性抛光液的优化

基于正交实验法的CuTaTEOS碱性抛光液的优化基于正交实验法的CuTaTEOS碱性抛光液的优化摘要：随着现代半导体技术的迅猛发展，对于高质量的抛光液的需求也越来越高。本研究基于正交实验法，通过对Cu