介观压阻型加速度计的设计与性能测试的中期报告

介观压阻型加速度计的设计与性能测试的中期报告中期报告导语本文介绍了一种新型的介观压阻型加速度计的设计。通过在压阻器上加入微结构来减小压阻器的尺寸，大大提高了加速度计的灵敏度。同时，采用了特殊的封装技术