微米纳米加工中的聚焦离子束技术

微米纳米加工中的聚焦离子束技术摘要聚焦离子束技术，也称为聚焦离子束刻蚀（FIB），是一种用于微米纳米加工的重要工具。本文介绍了聚焦离子束技术的工作原理、应用范围和优点，并对其未来发展趋势进行了探讨。引