300mm炉管工艺中的颗粒和缺陷控制

300mm炉管工艺中的颗粒和缺陷控制随着半导体工艺的不断进步，300mm炉管工艺已经成为了目前最先进的芯片制造工艺之一。炉管的作用是将晶圆置于高温高压的气氛中，通过化学反应的方式去除杂质或在其表面生成