基于MEMS传感器技术的倾角测量仪设计

基于MEMS传感器技术的倾角测量仪设计基于MEMS传感器技术的倾角测量仪设计摘要：倾角测量在许多工程领域中都是至关重要的。本论文介绍了一种基于压电型MEMS传感器技术的倾角测量仪设计。通过将MEMS传