磁控溅射镀膜实验报告

近代物理实验磁控溅射镀膜宋爽 核12 2011011723指导老师：王合英 2013-5-24【摘要】本实验根据气体辉光放电和磁场约束电子运动的原理，运用真空系统和磁控溅射镀膜技术，测量了基片加热温度