光刻机精细准方法研究

光刻机精细对准方法研究 光学专业 研究生梁友生 指导教师曹益平邢廷丈 摘 要 集成电路的密集程度和性能指标按摩尔定律(Moor’S Law)成几何级数快 速增长，它强力推动着整个IT行业的高速发展。光