物理气相沉积铜膜本征应力形成机制及影响因素研究进展论文

第 27 卷 第 2 期2021 年 4 月真空与低温Vacuum & Cryogenics103物理气相沉积铜膜本征应力形成机制及影响因素研究进展王兰喜， 张凯锋， 王 虎， 王 艺， 熊玉卿， 吴