基于端点反射镜的微弯悬臂梁和PSD的微位移测量仪研究

基于端点反射镜的微弯悬臂梁和PSD的微位移测量仪研究摘要：本文介绍了基于端点反射镜的微弯悬臂梁和PSD的微位移测量仪的研究。该测量仪的设计和实验表明，端点反射镜和PSD技术可用于微弯悬臂梁的形变分析和