基于飞秒激光直写途径的微腔光子芯片研究

基于飞秒激光直写途径的微腔光子芯片研究基于飞秒激光直写途径的微腔光子芯片研究摘要：微腔光子芯片是一种具有微米级尺寸的光学器件，具有高灵敏度和高集成度的特点。然而，传统的微腔制备方法受到材料选择和制备工