微位移机构的设计、仿真及有限元分析

微位移机构的设计、仿真及有限元分析微位移机构是一种用于实现微小运动的机构，常用于微机电系统（MEMS）、纳米技术和精密仪器等领域。本文将介绍微位移机构的设计、仿真及有限元分析。1. 设计微位移机构一般