纳米硅薄膜晶体管压磁传感器制作工艺及特性研究

纳米硅薄膜晶体管压磁传感器制作工艺及特性研究纳米硅薄膜晶体管压磁传感器制作工艺及特性研究摘要：本文介绍了纳米硅薄膜晶体管压磁传感器制作工艺及特性研究。通过制备纳米硅薄膜，采用光刻、蒸发、离子注入等工艺