甚高频激发的容性耦合等离子体的特性测量与分析

甚高频激发的容性耦合等离子体的特性测量与分析高频激发的容性耦合等离子体的特性测量与分析引言近年来，等离子体技术在众多领域中得到广泛应用，如材料加工、环境污染治理、能源等。容性耦合等离子体是一种常用的等