热处理对离子注入法制备的二氧化钛薄膜光学性能的影响的综述报告

热处理对离子注入法制备的二氧化钛薄膜光学性能的影响的综述报告离子注入法是一种制备二氧化钛薄膜的方法，其优点包括可以制备出具有不同化学性质的材料，制备过程简单、易控制和无需高温。在离子注入法中，经过离子