SOI微机械结构和相关器件研究的综述报告

SOI微机械结构和相关器件研究的综述报告SOI（Silicon On Insulator）技术是一种先进的半导体加工技术，它将硅芯片转移到一个绝缘层上，可以有效地降低子导体底部效应，并且在制造CMOS