NAl共掺ZnO透明导电薄膜的制备及光电性能研究

NAl共掺ZnO透明导电薄膜的制备及光电性能研究标题：NAl共掺ZnO透明导电薄膜的制备及光电性能研究摘要：本文以NAl共掺ZnO透明导电薄膜为研究对象，通过溶胶-凝胶法制备了一系列不同掺杂浓度的样品