计算机集成制造系统（CIMS）中设备自动化（EAP）设计与开发

知识水坝论文摘 要本文讨论了半导体制造业CI MS工程中设备自动化系统 ( E AP)的设计与开发。E AP系统主要功能是对生产线上机台( E q u i p me n t ) 进行实时监控，是实现生