基于体硅工艺的MEMS光开关关键技术研究

基于体硅工艺的MEMS光开关关键技术研究摘要：光开关由于具有高速、低耗、小型化等优势被广泛应用于光通信、数据处理等领域。体硅工艺是一种高精度微纳加工技术，在制造MEMS光开关中具有不可替代的优势。本文