三维构架硅纳米线生长定位集成及其薄膜晶体管的制备的任务书

三维构架硅纳米线生长定位集成及其薄膜晶体管的制备的任务书任务书任务名称：三维构架硅纳米线生长定位集成及其薄膜晶体管的制备任务背景：随着半导体工艺的发展，纳米材料逐渐受到人们的重视，尤其是硅纳米线在电子